[불산 화학물질 누출사고]반도체공정 화학소재취급하는 (주)램테크놀러지 금산공장에서 국소배기설비 밸브가 열린 상태에서 원료공급배관 밸브를 열어 액체상 무수불산이 역류하여 누출된 사고로 인한 피해조사

[불산 화학물질 누출사고]반도체공정 화학소재취급하는 (주)램테크놀러지 금산공장에서 국소배기설비 밸브가 열린 상태에서 원료공급배관 밸브를 열어 액체상 무수불산이 역류하여 누출된 사고로 인한 피해조사

충남 금산군 불산 누출사고

사업장 현황

< 사업장 개요 >

○ 반도체용 식각액, 박리액, OLED 마스크 세정액 및 계측기기(QMS)

등을 제조하는 업체

○ 불산(1,900톤), 염산(368톤) 등 총 14종의 유독물을 취급하여 불화

수소, 불화암모늄 및 혼합물질을 생산

□ 일반현황

○ 사업장명 : (주)램테크놀로지 금산공장(충남 금산군 군북면 조정리)

○ 설립연도 : 2001년 10월

○ 주요업종 : 식각액, 박리액, 액정세정제, 전기계측기

○ 직 원 수 : 총원 약 138명

○ 건 축 물 : 철골, 철근콘크리트구조 3층 8동 연면적 8,288m2

화학물질 취급현황

○ 반도체 공정용 화학소재와 산화막 절연체, 디스플레이 공정용 화학

소재 및 IT 산업 핵심 유 무기 케미컬 제조

- 제조 약품으로 식각액, 박리액, 세정액, 증착액, 용해액 등으로 구성

○ 불산(1,700톤/년), 무수불산(650톤/년), 염산(368톤/년) 등 총 14종의

유독물을 취급

- 불산(3.6톤/일)과 무수불산(2.4톤/일)을 반도체 세정에 사용

(주)램테크놀러지 금산공장의 보관․저장 창고에서 작업자 2명이

이동형 탱크로리 교체 후 국소배기설비 밸브가 열린 상태에서 원료

공급배관 밸브를 열어 액체상 무수불산이 역류하여 누출

사후영향조사

□ 사후영향조사 개요

○ (조사범위) 금산군 군북면 조정리 일대

○ (조사기간) 2014. 8. ~ 2015. 5.

○ (조사내용) 사업장 주변의 수질오염정도, 인근마을(6개지점)토양

오염상태, 주변의 식물 생육상태 등

□ 분야별 조사결과

○ (수질) 하천수(9개지점), 지하수(6개지점) 먹는 물 수질기준(1.5㎎/L)

이내, 사업장 유출수(3개지점) 청정지역 배출허용기준(3㎎/L) 이내

○ (대기) 3개 지점 중 식물이 고사한 1개 지점에서 불소화합물

0.46ppm 검출(현장방문 등으로 봉인해제 누출영향 추정)

○ (토양) 사업장․인근 마을(6개 지점) 불소농도 기준 이내

※ 토양오염우려기준 : 공장용지 800㎎/㎏, 잡종지․대지․답 400㎎/㎏

○ (식생) 약 9,500㎡의 식생이 피해를 입었으며, 일부 소나무가 고사

하는 등 불화수소 누출로 교목층의 생육상태 불량

○ (농작물) 농작물(깻잎 등) 피해는 없음

<조사결과> (참고1)

◾ (1차조사결과) 약 9,500㎡ 의 식물(잎)이 고사하였으나, 동물 사체는 확인

되지 않음(2014.9)

◾ (2차조사결과) 소나무 일부가 불화수소 누출로 고사하였으며, 소나무, 상수리

나무 등 교목층은 생육이 양호하지 않고, 관목층 이하에서는 영향 미미(2015.5

사후영향 조사 결과

□ 대기

○ (식물고사 지점) 사고 발생 4일 경과 후 사업장 동측으로 30m

이격된 식물고사 지점에서 불소화합물 0.46ppm 검출

○ (인근 마을) 사업장 남측으로 30m 이격된 식물고사 지점과 약

500m 이격된 조정리 마을회관에서는 불소화합물 불검출

□ 수질

○ (유출수) 사업장 유출수의 불소 농도 분석결과 0.65㎎/L로 청정

지역의 배출허용기준(3㎎/L) 이내

○ (방류수 및 하천수) 방류수 및 하천수 9개 지점 수질 분석결과

6개 지점에서 불소 검출*

＊ 불소 0.18∼0.31㎎/L으로 먹는 물 수질기준(1.5㎎/L) 이내

○ (지하수) 마을 주변 6개 지점 지하수 분석결과, 2개 지점에서 0.19

㎎/L, 0.26㎎/L이 검출되었으나 먹는 물 수질기준(1.5㎎/L) 이내

□ 토양

○ 사고지점 주변 및 인근 마을 6개 지점에 대한 불소농도를 조사한

결과, 토양오염우려기준* 이내

＊ 토양오염우려기준 : 공장용지 800㎎/㎏, 잡종지․대지․답 400㎎/㎏

※ (주)램테크놀러지 공장부지 3개 지점에서 258.3～421.1㎎/㎏, 조정리

마을 3개 지점에서는 261.4～346.6㎎/㎏의 불소 검출

식생

○ (1차 조사) 불화수소 누출로 인한 식물(식생)의 잎 고사는 확인*

되었으나, 동물사체 미확인

＊면적 : 현장조사 및 목측 관찰지역면적 127,138m2 중 식물 고사 피해 면적

은 약 9,500m2

○ (2차 조사) 일부 소나무가 불화수소 누출로 인하여 고사

- 교목층은 불화수소로 인하여 생육이 양호하지 않으나, 관목층 이하

에서는 불화수소로 인한 영향은 미미, 동물사체 미확인

□ 조사기관의 종합의견

○ 수질, 대기, 토양은 현재 기준 이내 또는 불검출로 조사 종료

○ 불화수소 누출로 생육이 양호하지 않은 것으로 조사된 식생분야는

불화수소로 인한 영향 정도와 향후 회복 방안 등을 강구하기 위해

추가 조사 필요

□ 복구 및 사후관리의 필요성 및 타당성 여부

○ 수질, 대기, 토양 등은 「수질 및 수생태계 보전에 관한 법률」, 대기

환경보전법」, 토양환경보전법」에서 규정한 복구 대상 아님

○ 식생분야는 추가 조사 결과에 따라 복구 등의 필요성 재검토

불산의 물리화학적 특성 및 유해성

□ 물질의 개요

○ 분자식 : HF

○ 성 상 : 무색기체

○ 냄 새 : 강한 자극적 냄새

○ 분자량 : 20.01

○ 기 화 : 19.5℃ 이상 시 기화되어 연기 발생

○ 밀 도 : 1.27ｇ/L(공기=1)

○ 용해도 : 물에 잘 용해되며 산성으로 독성 및 부식성 강함

○ 용 도 : 프레온가스 원료, 유리부식, 주물모래 제거, 스테인레스,

표면처리제 등으로 사용

□ 인체노출 유해성

○ (흡입) 호흡기 자극, 화상, 기침, 숨 막힘, 현기증, 두통, 오심,

무기력증, 호흡곤란, 기관지경련, 폐렴, 폐부종

○ (피부) 화상, 동상, 홍반, 물집, 궤양

○ (안구) 자극, 통증, 눈물, 충혈, 빛에 민감, 화상, 각막 혼탁, 시력상실

○ (경구) 구강․위장관 화상, 오심, 구토, 설사, 복통 토혈, 저혈압,

쇼크, 심혈관 허탈, 혼수, 마비

< 분야별 조사내용 및 조사결과 >

＊측정 당일(2014.8.28.) 환노위 의원 및 보좌진의 현장방문으로 사고지점 봉인을

해제하면서 창고 내 체류가스의 누출영향 추정(창고 내 2ppm) 검출

조사분야 조사기관 조사범위

조사

기간

조사결과

(불소 또는

불소화합물 농도)

수질

하천수

금산군, 충청남도

보건환경연구원

조정천, 조정리 마을

하천수 등 9개 지점

14.09.01.

먹는 물 수질기준

(1.5㎎/L) 이내

지하수

금산군, 충청남도

보건환경연구원

조정리 마을 주변 6개

지점

14.8.27.

14.09.02.

먹는 물 수질기준

(1.5㎎/L) 이내

사업장

유출수

금산군, 충청남도

보건환경연구원

비점오염저감시설, 저류조,

방류구 등 3개 지점

14.08.24.

청정지역 배출허용기준

(3㎎/L) 이내

대기 금강유역환경청

사고지점 주변, 조정리

마을 등 3개 지점

14.08.28.

～08.29.

(24시간)

사고지점 동측 1개 지점

0.46ppm 검출*

토양

금강유역환경청,

금산군

사업장, 조정리 마을

주변 6개 지점

14.09.15.

토양오염우려기준

(공장지역 800㎎/㎏,

이외 400㎎/㎏) 이내

생태계 국립생태원 사업장 주변 식생 등

14.09.03.

약 9,500㎡에서 식물(잎)

고사, 동물 사체 미확인

15.05.06.

소나무 일부 고사 등

교목층 생육 양호하지 않음

농작물

국립과학수사

연구원

고사식물 등 14.8.25.

고사식물 176㎍/g,

대조식물 1㎍/g

국립농산물

품질관리원

사업장 주변 깻잎 등

농작물

14.8.25,

14.9.2.

불검출

출처 : 화학물질안전원